半导体厂务用热

DESIGN INPUTS

选型前先确认三件事

01 / 用热位置

区分洁净室环境控制、工艺设备和其他厂务系统，确认各用热点所需的热媒与温度。

02 / 负荷变化

整理常用负荷、峰值负荷和低负荷运行时段，以及未来扩产需求。

03 / 运行条件

明确现场空间、可用能源、水质、排放要求与备用设备需求。